AeroBar 5635 MP 离子棒
SIMCO-ION Aerobar 5635 MP 离子棒能提供快速静电消散，低残余电压摆幅，和精准的离子平 衡，是设计用于有严格要求的半导体和超高洁净制程环境。它采用 MP 技术 - 把高频正旋周波和调制脉冲结合-产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面，这突破的技术使 5635 MP 离子 棒能安装在晶圆的 15 cm 距离内。同时配合超高洁净的静电针和精确的参数调整，使它能达到 ISO 14644-12 (0.01 mm 或纳米等级微粒) 和 ISO 14644-1 Class 1 (0.1 mm 微粒) 的洁净度。 选配的吹气辅助功能，在洁净要求不高的环境，能加快离子的推送，得到更快的消散时间和有更 远的工作距离。
SIMCO-ION Aerobar 5635 MP 离子棒的 MP 技术能容易设置和微调参数-输出电压，脉冲频率，正负平 衡，以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。在棒长短于 60 cm 时，静电针的间距是 5 cm，这样能给出更浓密和更平均的离子覆盖。
- 产品参数
SIMCO-ION Aerobar 5635 MP 离子棒能提供快速静电消散，低残余电压摆幅，和精准的离子平 衡，是设计用于有严格要求的半导体和超高洁净制程环境。它采用 MP 技术 - 把高频正旋周波和调制脉冲结合-产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面，这突破的技术使 5635 MP 离子 棒能安装在晶圆的 15 cm 距离内。同时配合超高洁净的静电针和精确的参数调整，使它能达到 ISO 14644-12 (0.01 mm 或纳米等级微粒) 和 ISO 14644-1 Class 1 (0.1 mm 微粒) 的洁净度。 选配的吹气辅助功能，在洁净要求不高的环境，能加快离子的推送，得到更快的消散时间和有更 远的工作距离。
SIMCO-ION Aerobar 5635 MP 离子棒的 MP 技术能容易设置和微调参数-输出电压，脉冲频率，正负平 衡，以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。在棒长短于 60 cm 时，静电针的间距是 5 cm，这样能给出更浓密和更平均的离子覆盖。
5635 MP | |
输入电压 | 24 VDC ±10% |
输出电压 | 13.5kV p-p（Max），可调 |
工作距离 | 由 15 cm 至 100 cm，根据应用需求或客户规格决定 |
脉冲定频 | 由 1 Hz 至 33 Hz，可调，默认设定 - 5 Hz |
平衡电压 | 自动平衡系统，在可控环境下，整根棒能长期保持在 <±20V @ 61 cm 工作距离 |
电离技术 | 调制脉冲 (MP) 技术 |
静电针材质 | 单晶硅 |
风嘴间距 | 可选 50 mm 或 75 mm；棒长 450 mm 和 600 mm 只可选 50 mm |
符合洁净度 | 兼容 ISO 14644-12 (0.01 mm 或纳米等级微粒) 和 ISO 14644- 1 Class 1 (0.1 mm 微粒) 的洁净度 (输出功率：45-50%) |
供气要求 | CDA (清洁干燥压缩空气) 或 氮气 |
气压要求 | 45 psi (最大)；由选配的 8 mm 外径快速接口接入，每个风嘴输出 1-3.5 litre/min 的风量 |
臭氧产生 | <0.05 ppm |
EMI | 低于背景水平 |
操作环境 | 15-35℃，30-60% RH，无冷凝 |
设 定 | DIP 开关设定电源输入选择，有可调电位器微调操作参数 - 正负平衡，工作频率，功率输出，也可以序列埠输出连接电脑软件作调整 |
封 装 | ABS chassis, 棒上不锈钢长条作回馈 |
体 积 | 78H x 34W x 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/175 0/1900/2050/2200/2350L mm |
型号 5601 电源分配盒（选配） | |
输入电压 | 24 VDC 提供给一组4 根棒，组内每个端口最多需要 0.7A 电流；总电流要求 5.6A |
通 信 | 以太网 (RJ-45) 接连电脑；个别离子棒的待机输入 |
警报输出 | 继电接点连地 |
输出端口 | 8 个 RJ-45 端口，每根棒接一个端口 |
LED 显示 | 电源 - 绿，通信 - 黄，警报 - 红，LAN 通信 - 蓝 |
重 量 | 0.42kg |
体 积 | 31 x 160 x 92 mm |
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