在洁净房的生产线,所使用的材料,大部分的都是塑料,石英,陶瓷,玻璃,硅晶很好的绝缘体,很容易会产生静电。当气流经过空气过滤系统,进入洁净房,会除掉其中的游离离子,令气流失去静电耗散功效。故此,现今的洁净房能产生和维持高水平的静电荷。由于一般的抗静电的表面处理和静电耗散材料都不兼容洁净房,这种现象消除较为困难。
当生产过程在产品表面产生或残留静电时,表面会吸引洁净房空气中的微粒。这些微粒不是从过滤系统逃出,而是由房内的人员,机器, 和制程所产生的。静电吸附微粒的强度是十分惊人的,只要微粒绑结在表面,就很难把它移除。这种微粒的污染是导致产品质量下降或失效的一大原因。