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文件标题 :
SIMCO-ION AeroBar 5630 MP 离子棒产品资料
文件类型 :
pdf
上传时间 :
2021-11-11 12:07:46
下载次数 :
152
文件大小 :
255KB
更新时间 :
2023-02-14 17:34:25
详细介绍
SIMCO-ION AeroBar 5630 MP 离子棒能提供快速静电消散，低残余电压摆幅，和精准的离子平衡，是设计用于有严格要求的超高洁净半导体或有同类的制程环境。它采用 MP 技术 - 把高频正旋周波和调制脉冲结合 - 产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面，这突破的技术使 5630 能维持长时间的高效工作而不需清洁，相较传统脉冲 AC 技术，有更长的清洁周期。
